این پروژه با هدف طراحی و ساخت تجهیزات تخصصی برای اندازه‌گیری، پایش و کنترل فرآیندهای خلأ در طرح ملی خلأ دانشگاه فردوسی مشهد انجام شد. در این پروژه، مجموعه‌ای از تجهیزات اندازه‌گیری و کنترلی متناسب با نیازهای فرآیند طراحی و پیاده‌سازی گردید.
کارفرما: دانشگاه فردوسی مشهد
منطقه اجرا: مشهد
دوره اجرا: 1385/05/10
طراحی و ساخت گیج‌های اندازه‌گیری خلأ Pirani و Penning
طراحی و ساخت سیستم اندازه‌گیری ضخامت لایه‌های نازک (Film Thickness Monitoring)
طراحی و پیاده‌سازی سیستم کنترل فرآیند
طراحی و پیاده‌سازی سیستم کنترل فرآیند
طراحی و ساخت تجهیزات الکترونیکی مورد نیاز پروژه
یکپارچه‌سازی تجهیزات اندازه‌گیری و کنترل برای پایش دقیق فرآیند
